關于拓荊

發展歷程

2020
2020年12月
獲國際大廠先進制程重復訂單
開展UV Cure 研發,首臺出貨到客戶端
客戶端總流片量超過1500萬片
2020年11月
“十三五”國家重大專項通過驗收
整機累計出貨量超過100臺套
2020年09月
認定為“遼寧省企業技術中心”

2019
2019年12月
泛半導體應用TFLITE研制成功
2019年12月
獲評國家知識產權示范企業
2019年12月
完成第四輪融資
2019年10月
獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
2019年09月
SACVD研制成功并出廠到客戶端
2018
首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
2018年12月
12英寸ALD通過客戶端14nm產業化驗證
2018年10月
2017
首臺量產型 HTM PECVD 出廠到客戶端
2017年12月
PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
2017年10月
完成第三輪融資
2017年8月
2016
拓荊新廠投入使用
2016年12月
“十一五”國家重大專項通過驗收
2016年4月
首臺12英寸ALD出廠到客戶端
2016年3月
2015
獲批“十三五”國家重大專項
2015年12月
完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
2015年9月
PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
2015年3月
2014
獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
2014年12月
中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
2014年8月
完成公司首輪增資
2014年5月
2013
PF-300T通過中芯國際產品線測試
2013年12月
首臺12寸PF-300銷售
2013年4月
2012
推出12英寸多反應腔PF-300T設備
2012年12月
2011
首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
2011年10月
獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心
2011年8月
2010
沈陽拓荊科技有限公司成立
2010年4月
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