產品系列

PECVD設備

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產品介紹

PF-300T、PF-200T
12英寸 , 8英寸PECVD設備

產品介紹

PF-300T為拓荊承擔國家“十一五”重大專項,自主設計研發的產品系列。設備已用于40-28納米集成電路的生產,具有14納米及以下技術的延展性,可實現所有相關介質薄膜的沉積。同時已延伸至先進膜技術,產品涵蓋了高刻蝕選擇比的ACHM硬掩膜、低介電常數的絕緣薄膜及NDC刻蝕阻擋層、超低介電常數的ULK薄膜,可滿足客戶多種技術節點要求。


 
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