產品系列

Thermal ALD設備

  • 產品介紹
  • 產品特點
  • 產品參數
  • 產品概況
產品介紹

FT-300T eX
12英寸Thermal ALD設備 

產品介紹

FT-300T eX系列是我公司自主研發的熱原子層沉積(Thermal Atomic Layer Deposition)設備,以高產能PEALD設備核心技術為基礎,針對金屬薄膜沉積的特殊性,對反應腔模塊及關鍵部件優化設計,實現成本更低,純度更高的金屬薄膜的沉積,可用于沉積AlOx/AlN/SnOx/TiN等多種金屬薄膜材料。在7nm及以下制程中有著廣泛的應用。


 
  • 微信公眾號
COPYRIGHT 2021 拓荊科技股份有限公司 All RIGHTS RESERVED. 技術支持:優諾科技遼ICP備05007152號-1
亚洲精品国产av成拍色拍